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  • 首页 >> 净化工程 >> 洁净室标准 >> 洁净室标准

     

    洁净室标准规格说明(一) 
      目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准209为多,今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

    表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

    洁净室等级(Class)

    微尘粒子
    压力
    温度
    风速与换气率(次/hr)
    照度lux
    粒子大小um
    粒子数目Particles/ft3
    mmAg
    值域℃
    推薦值℃
    误差值℃
    最大MAX%
    最小MIN%
    误差%

    层流方式0.35~0.55 m/s

    1080

    ~

    1620

    1
    ≧0.5
    ≦1
    >1.3
    19.4~25
    22.2
    ±2.8

     

    ±1.4

    45
    30
    ±10

     

    ±5

    ≧5.0
    0
    10
    ≧0.5
    ≦10
    ≧5.0
    0
    100
    ≧0.5
    ≦100
    ≧5.0
    ≦1
    1000
    ≧0.5
    ≦1000
    乱流方式≧20 次/hr
    ≧5.0
    ≦10
    10000
    ≧0.5
    ≦10000
    ≧5.0
    ≦65
    100000
    ≧0.5
    ≦100000
    ≧5.0
    ≦700
      至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出,读者可试算之。

    表1-2 美国联邦标准209E

    洁净度等级

    微尘粒子

    0.1um

    0.2um

    0.3um

    0.5um

    5um

    单位

    单位

    单位

    单位

    单位

    公制

    英制

    (m3)

    (ft3)

    (m3)

    (ft3)

    (m3)

    (ft3)

    (m3)

    (ft3)

    (m3)

    (ft3)

    M1

     

    350

    9.91

    75.7

    2.14

    30.9

    0.875

    10.0

    0.283

    -

    -

    M1.5

    1

    1240

    35.0

    265

    7.50

    106

    3.00

    35.3

    1.00

    -

    -

    M2

     

    3500

    99.1

    757

    21.4

    309

    8.75

    100

    2.83

    -

    -

    M2.5

    10

    12400

    350

    2650

    75.0

    1060

    30.0

    353

    10.0

    -

    -

    M3

     

    35000

    991

    7570

    214

    3090

    87.5

    1000

    28.3

    -

    -

    M3.5

    100

    -

    -

    26500

    750

    10600

    300

    3530

    100

    -

    -

    M4

     

    -

    -

    75700

    2140

    30900

    875

    10000

    283

    -

    -

    M4.5

    1000

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    35300

    1000

    247

    7.00

    M5

     

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    100000

    2830

    618

    17.5

    M5.5

    10000

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    353000

    10000

    2470

    70.0

    M6

     

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    1000000

    28300

    6180

    175

    M6.5

    100000

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    3530000

    100000

    24700

    700

    M7

     

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    10000000

    283000

    61800

    1750

      美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m3)。其Class1,Class2...之数目字以0.1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得。

    表1-3 日本JIS(9920 ~1989)标准

    粒径级数
    Class1
    Class2
    Class3
    Class4
    Class5
    Class6
    Class7
    Class8
    0.1
    101
    102
    103
    104
    105
    106
    107
    108
    0.2
    2
    24
    236
    2,360
    23,600
    -
    -
    -
    0.3
    1
    10
    101
    1,010
    10,100
    101,000
    1,010,000
    10,100,000
    0.5
    -
    -
    35
    350
    3,500
    35,000
    350,000
    3,500,000
    5.0
    -
    -
    -
    -
    29
    290
    2,900
    29,000

     

    资料来源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

     

     

     

    洁净室标准规格说明(二)
      在德国工业及医学等之多数领域中,洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术,因此在1967年完成了德国的洁净室规格,在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数,而以其中之指数n规定等级,如4*103 即表示等级为3,此等级与美国联邦规格Class100想近似。表1-4为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

    表1-4 德国规格表

    等级
    微尘粒径(um)
    与别国等级比较
    0.5
    1
    5
    美国
    法国
    3
    4*103
    1*103
    -
    100
    4000
    4
    4*104
    1*104
    0.03*104
    -
    -
    5
    4*105
    1*105
    0.03*105
    10000
    400000
    6
    4*106
    1*106
    0.03*106
    100000
    4000000

    表1-5为美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值(个/ft3)(以0.5u粒子为依准)。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同,为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级,以期运用于工作上,故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算,如表1-6

    表1-5 美国209D规定粒子数(上限值)

    等级
    Class1
    Class10
    Class100
    Class1000
    Class10,000
    Class100,000
    0.1
    35(1,225)
    350(12,250
    -
    -
    -
    -
    0.2
    7.5(263)
    75(2,630)
    750(26,300)
    -
    -
    -
    0.3
    3(105)
    30(1,050)
    300(10,500)
    -
    -
    -
    0.5
    1(35)
    10(350)
    100(3,500)
    1000(35,000)
    10,000(350,000)
    100,000(3,500,000)
    5.0
    -
    -
    -
    7
    70
    700
    *()内之数值单位:个/M3

    表1-6 美日洁净度级别换算

    日本
    美国
    级别3
    Class 1
    级别4
    Class 10
    级别5
    Class 100
    级别6
    Class 1000
    级别7
    Class 10000
    级别8
    Class 100000

      除了美国、日本、德国、之洁净室标准外,世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格,表1-6即为世界各国洁净度等级规格之比较。

    表1-6 世界各国洁净度等级规格表

    国名
    美国
    美国
    日本
    英国
    德国
    法国
    澳洲
    韩国
    中国大陆
    规格
    FS209D
    FS209E
    JIS B 9920
    BS 5295
    VDI 2083
    AFN 4410
    AS 1386
    KS
    QJ2214
    年度
    1988
    1992
    1989
    1989
    1990
    1981
    1989
    1991
    1991
    基准粒子(um)
    0.5
    0.5
    0.1
    0.5
    1
    0.5
    0.5
    0.3
    0.1 0.5
    单位
    pcs/ft3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    pcs/M3
    Class
    -
    -
    1
    -
    -
    -
    -
    M1
    0.1um ~1
    -
    M1
    2
    -
    0
    -
    -
    M10
    0.1um ~5
    1
    M1.5
    3
    C
    1
    -
    0.035
    M100
    0.1um ~10
    10
    M2.5
    4
    D
    2
    -
    0.35
    M1000
    1
    100
    M3.5
    5
    E or F
    3
    4,000
    3.5
    M10000
    100
    1000
    M4.5
    6
    G or H
    4
    -
    35
    M100,000
    1,000
    10,000
    M5.5
    7
    I
    5
    400,000
    350
    M1,000,000
    10,000
    100,000
    M6.5
    8
    J
    6
    4,000,000
    3500
    M10,000,000
    100,000
    -
    M7
    -
    K
    7
    -
    -
    -
    -
    -
    -
    -
    L
    -
    -
    -
    -
    -
    *以0.5um为区别。

     

    资料来源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

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